技术参数；
真空腔体 | |
类型 | 高温加热型1000℃（高于600℃需真空环境） |
腔体材质 | 6061铝合金 |
腔体内尺寸 | 147mmX72mmX22mm |
腔体外尺寸 | 170mmX95mmX37mm |
腔体重量 | 约1.1KG |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
腔体抽气口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） |
腔体真空测量口 | |
腔体进气口 | 公制3mm6mm气管接头英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体冷却方式 | 腔体水冷+上盖水冷 |
腔体水冷接口 | 6mm快拧 或 6mm快插 |
腔体正压 | ≤0.05MPa |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
样品台 | |
样品台材质 | 高温绝缘陶瓷 |
样品台尺寸 | 26x26mm |
样品台加热方式 | 电阻加热 |
样品台-视窗 距离 | 13mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
样品台测温传感器 | S型热电偶 |
样品台温度 | 室温到1000℃ |
样品台隔热材料 | 金属屏蔽+陶瓷隔热 |
样品台测温误差 | ±1℃ |
样品台升温速率 | 高温100℃/min *大值 |
