KT-Z165M4RT精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ30x30，台面Zui高可升温到Zui高400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用jungong级别真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针dingjian处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。
三：主要技术要求
1． 加热温度：高温型室温～400℃
2． 温度显示：7寸人机界面
3． 温控精度：±0.5℃
4． 热电偶类型：PT100高精度传感器
5． 温控类型：标准PID温控+自整定
6． 温度分辨率：0.1℃
7． 温控输出：直流线性电源加热
8． 辅助功能：温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线可扩展真空读数接口
9． 温控器尺寸：约32cmX170cmX380cm
10． 温控器重量：约5.6KG
11． 程序温控：30段程序控温
